4J29密封預氧化

Kovar合金與硼硅酸鹽硬質玻璃是由Kovar合金與玻璃表面氧化物相互溶解而形成的。因此，Kovar合金的預氧化是金屬殼體制造中一個非常重要的過程，也是直接影響密封密封的重要因素。為了實現氣密密封，kovar合金預氧化需要Fe3O4和FeO，但不期望Fe2O3。同時，氧化物膜厚度應控制在一定范圍內；如果氧化物膜太薄，氧化物完全溶解在玻璃中，導致玻璃與金屬基體表面直接密封，從而降低了密封強度；如果氧化物膜太厚，金屬表面的氧化物粗糙疏松，密封件容易泄漏。為了達到上述兩個目的，可以從Kovar合金氧化的熱力學和動力學出發，通過控制氧化氣氛、溫度和時間來實現。